試料評価

作製した試料の構造や組成がどうなっているかを調べることは極めて重要です。試料を同定するための装置を紹介します。

EPMA装置
作製した試料に含まれている元素を調べる装置です。試料に加速した電子線をあてると、試料からX線が放出されます。このX線は特性X線と呼ばれ、元素によって波長が異なるため、放出されたX線の波長を調べることで、試料が含有している元素を知ることができます。試料を構成する元素、組成の比率、空間的な均一性について明らかにすることができます。

粉末X線回折装置
Cu管球のKα線を用いた単色光による粉末X線回折装置です。試料の結晶構造や不純物相の有無について調べます。

単結晶X線ラウエ装置
Mo管球からの連続X線を用いて背面ラウエ法により、試料の方位を決定します。IP(イメージングプレート)で読み取りを行います。

放電加工機
ラウエ写真で単結晶の方位を明らかにした後、放電加工機を用いて特定の方位で試料を切り出します。放電するために銀ペーストなど導電性の接着剤を用います。